VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Silicon (100) wafer, briefly soaked in 3% HF etch,
1
no ion etching
NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1
no ion etching
Silicon (100) wafer, briefly soaked in 3% HF etch,
2003
5
10
14
45
7
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
155.6
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-0.977517
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
2
4.00E-06
0
0
0
0
2048
9
6519
0.0603073
0.288006
201
0.288006
181
0.287198
205
0.286393
171
0.285593
195
0.284797
194
0.284004
190
0.283215
179
0.28243
167
0.281648
183
0.280871
167
0.280097
198
0.279326
183
0.278559
187
0.277796
209
0.277037
177
0.276281
174
0.275528
210
0.274779
206
0.274034
197
0.273291
194
0.272553
223
0.271818
218
0.271086
236
0.270357
242
0.269632
216
0.26891
187
0.268192
196
0.267477
176
0.266765
184
0.266056
205
0.265351
191
0.264648
181
0.263949
184
0.263253
162
0.262561
171
0.261871
180
0.261184
179
0.260501
169
0.25982
201
0.259143
190
0.258469
193
0.257797
174
0.257129
170
0.256464
206
0.255801
172
0.255142
193
0.254485
185
0.253831
178
0.25318
181
0.252532
162
0.251887
192
0.251245
190
0.250605
174
0.249969
179
0.249335
185
0.248703
166
0.248075
191
0.247449
193
0.246826
193
0.246206
174
0.245588
209
0.244973
193
0.24436
184
0.243751
190
0.243143
179
0.242539
191
0.241937
201
0.241337
197
0.24074
197
0.240146
195
0.239554
198
0.238964
173
0.238377
196
0.237793
195
0.237211
217
0.236631
196
0.236054
188
0.235479
247
0.234907
180
0.234337
226
0.23377
227
0.233204
192
0.232641
209
0.232081
201
0.231523
237
0.230967
215
0.230413
201
0.229861
207
0.229312
182
0.228765
201
0.228221
206
0.227678
215
0.227138
220
0.2266
235
0.226064
195
0.22553
226
0.224999
218
0.224469
217
0.223942
241
0.223417
225
0.222894
224
0.222373
221
0.221854
246
0.221337
229
0.220822
217
0.22031
221
0.219799
193
0.21929
245
0.218784
250
0.218279
212
0.217777
237
0.217276
212
0.216777
214
0.216281
225
0.215786
240
0.215293
223
0.214802
227
0.214313
258
0.213826
226
0.213341
232
0.212857
226
0.212376
218
0.211896
221
0.211419
238
0.210943
238
0.210469
244
0.209997
258
0.209526
262
0.209058
220
0.208591
246
0.208126
223
0.207663
232
0.207201
229
0.206741
239
0.206283
251
0.205827
254
0.205373
243
0.20492
264
0.204469
258
0.204019
265
0.203572
247
0.203126
247
0.202681
227
0.202239
271
0.201798
246
0.201358
242
0.200921
251
0.200484
273
0.20005
280
0.199617
253
0.199186
231
0.198756
269
0.198328
268
0.197901
251
0.197477
277
0.197053
275
0.196631
246
0.196211
265
0.195792
245
0.195375
271
0.194959
237
0.194545
277
0.194132
294
0.193721
284
0.193312
271
0.192903
301
0.192497
283
0.192091
249
0.191688
257
0.191285
263
0.190884
310
0.190485
260
0.190087
276
0.18969
287
0.189295
312
0.188901
282
0.188509
287
0.188118
272
0.187728
281
0.18734
265
0.186953
285
0.186568
322
0.186184
285
0.185801
273
0.185419
288
0.185039
311
0.184661
303
0.184283
311
0.183907
300
0.183532
319
0.183159
319
0.182787
283
0.182416
316
0.182046
282
0.181678
293
0.181311
285
0.180945
300
0.180581
276
0.180217
315
0.179855
293
0.179495
312
0.179135
299
0.178777
314
0.17842
288
0.178064
306
0.177709
342
0.177356
300
0.177004
321
0.176653
320
0.176303
310
0.175954
331
0.175607
328
0.175261
334
0.174916
364
0.174572
339
0.174229
301
0.173887
348
0.173547
342
0.173207
325
0.172869
312
0.172532
312
0.172196
335
0.171861
310
0.171528
333
0.171195
351
0.170864
332
0.170533
319
0.170204
335
0.169876
324
0.169548
316
0.169222
340
0.168897
373
0.168574
349
0.168251
347
0.167929
370
0.167608
304
0.167288
359
0.16697
330
0.166652
346
0.166336
328
0.16602
369
0.165706
341
0.165392
341
0.16508
356
0.164768
383
0.164458
331
0.164148
373
0.16384
371
0.163532
376
0.163226
371
0.16292
349
0.162616
353
0.162312
390
0.16201
363
0.161708
348
0.161407
351
0.161108
391
0.160809
375
0.160511
374
0.160214
400
0.159918
370
0.159623
382
0.159329
415
0.159036
372
0.158744
388
0.158453
386
0.158162
355
0.157873
411
0.157584
376
0.157297
401
0.15701
414
0.156724
404
0.156439
390
0.156155
385
0.155872
372
0.15559
368
0.155308
401
0.155028
390
0.154748
405
0.154469
432
0.154191
415
0.153914
408
0.153638
374
0.153362
421
0.153088
419
0.152814
428
0.152541
427
0.152269
404
0.151998
411
0.151727
435
0.151458
383
0.151189
425
0.150921
388
0.150654
437
0.150388
385
0.150122
457
0.149858
469
0.149594
460
0.149331
463
0.149068
434
0.148807
423
0.148546
402
0.148286
431
0.148027
443
0.147768
445
0.147511
457
0.147254
445
0.146998
412
0.146742
403
0.146488
489
0.146234
449
0.145981
428
0.145729
442
0.145477
407
0.145226
459
0.144976
454
0.144727
477
0.144478
493
0.14423
463
0.143983
514
0.143737
484
0.143491
496
0.143246
474
0.143002
448
0.142758
443
0.142515
444
0.142273
481
0.142032
425
0.141791
448
0.141551
462
0.141312
490
0.141073
471
0.140835
463
0.140598
497
0.140361
470
0.140125
431
0.13989
502
0.139656
449
0.139422
464
0.139189
464
0.138956
468
0.138724
483
0.138493
492
0.138262
468
0.138032
509
0.137803
478
0.137575
490
0.137347
432
0.137119
500
0.136893
493
0.136667
485
0.136441
529
0.136217
460
0.135993
477
0.135769
502
0.135546
489
0.135324
505
0.135103
525
0.134882
506
0.134661
483
0.134441
448
0.134222
507
0.134004
524
0.133786
501
0.133569
519
0.133352
510
0.133136
515
0.13292
528
0.132706
511
0.132491
539
0.132278
467
0.132064
492
0.131852
477
0.13164
517
0.131429
517
0.131218
542
0.131008
523
0.130798
515
0.130589
543
0.130381
586
0.130173
558
0.129965
506
0.129759
538
0.129552
519
0.129347
531
0.129142
519
0.128937
581
0.128733
573
0.12853
543
0.128327
557
0.128125
543
0.127923
521
0.127722
580
0.127521
545
0.127321
541
0.127121
552
0.126922
534
0.126723
533
0.126525
539
0.126328
556
0.126131
539
0.125935
583
0.125739
555
0.125543
591
0.125348
596
0.125154
587
0.12496
591
0.124767
602
0.124574
583
0.124382
560
0.12419
565
0.123999
614
0.123808
540
0.123618
608
0.123428
566
0.123239
590
0.12305
631
0.122862
564
0.122674
602
0.122487
605
0.1223
595
0.122114
595
0.121928
582
0.121742
637
0.121558
603
0.121373
585
0.121189
582
0.121006
580
0.120823
590
0.12064
635
0.120458
603
0.120277
684
0.120096
628
0.119915
605
0.119735
606
0.119555
597
0.119376
630
0.119197
616
0.119019
625
0.118841
607
0.118664
603
0.118487
668
0.118311
611
0.118135
629
0.117959
656
0.117784
656
0.117609
660
0.117435
592
0.117261
705
0.117088
689
0.116915
653
0.116742
704
0.11657
663
0.116399
647
0.116228
707
0.116057
674
0.115887
666
0.115717
620
0.115547
693
0.115378
629
0.11521
663
0.115041
637
0.114874
662
0.114706
690
0.114539
683
0.114373
670
0.114207
674
0.114041
658
0.113876
679
0.113711
641
0.113546
701
0.113382
701
0.113219
698
0.113055
711
0.112893
708
0.11273
845
0.112568
997
0.112406
1319
0.112245
1086
0.112084
757
0.111924
692
0.111764
706
0.111604
647
0.111445
697
0.111286
652
0.111128
657
0.110969
663
0.110812
641
0.110654
667
0.110497
628
0.110341
672
0.110185
686
0.110029
652
0.109873
687
0.109718
651
0.109564
682
0.109409
699
0.109255
726
0.109102
705
0.108949
703
0.108796
645
0.108643
681
0.108491
678
0.108339
674
0.108188
743
0.108037
764
0.107886
669
0.107736
740
0.107586
721
0.107437
693
0.107287
705
0.107139
731
0.10699
723
0.106842
736
0.106694
686
0.106547
701
0.1064
701
0.106253
682
0.106106
730
0.10596
700
0.105815
700
0.105669
732
0.105524
736
0.105379
683
0.105235
745
0.105091
724
0.104947
707
0.104804
752
0.104661
702
0.104518
775
0.104376
744
0.104234
712
0.104092
715
0.103951
752
0.10381
767
0.103669
787
0.103529
720
0.103389
767
0.103249
760
0.10311
789
0.102971
768
0.102832
773
0.102693
790
0.102555
787
0.102418
775
0.10228
777
0.102143
784
0.102006
810
0.10187
741
0.101733
791
0.101597
772
0.101462
791
0.101327
798
0.101192
779
0.101057
797
0.100923
799
0.100789
733
0.100655
779
0.100521
803
0.100388
770
0.100255
786
0.100123
805
0.0999906
808
0.0998586
810
0.099727
836
0.0995957
839
0.0994646
801
0.0993339
856
0.0992034
781
0.0990732
807
0.0989434
818
0.0988138
863
0.0986845
840
0.0985555
848
0.0984268
844
0.0982984
818
0.0981702
818
0.0980424
805
0.0979148
879
0.0977875
845
0.0976605
779
0.0975338
842
0.0974074
865
0.0972812
828
0.0971554
917
0.0970298
869
0.0969044
887
0.0967794
878
0.0966546
890
0.0965302
863
0.0964059
818
0.096282
829
0.0961583
873
0.0960349
893
0.0959118
894
0.095789
838
0.0956664
847
0.0955441
892
0.095422
843
0.0953002
839
0.0951787
879
0.0950575
873
0.0949365
853
0.0948158
856
0.0946953
868
0.0945751
884
0.0944552
851
0.0943355
863
0.0942161
813
0.094097
923
0.0939781
877
0.0938594
942
0.093741
1027
0.0936229
1001
0.093505
875
0.0933874
931
0.0932701
893
0.0931529
891
0.0930361
896
0.0929195
894
0.0928031
880
0.092687
891
0.0925712
926
0.0924555
912
0.0923402
956
0.0922251
910
0.0921102
920
0.0919956
934
0.0918812
927
0.091767
954
0.0916531
943
0.0915395
936
0.0914261
954
0.0913129
927
0.0912
938
0.0910873
959
0.0909748
916
0.0908626
971
0.0907506
937
0.0906389
915
0.0905274
941
0.0904161
886
0.0903051
953
0.0901943
987
0.0900837
969
0.0899734
997
0.0898632
999
0.0897534
972
0.0896437
973
0.0895343
942
0.0894251
1007
0.0893162
953
0.0892074
922
0.0890989
1037
0.0889906
975
0.0888826
987
0.0887747
984
0.0886671
992
0.0885598
929
0.0884526
1003
0.0883457
1017
0.0882389
986
0.0881324
1007
0.0880262
1049
0.0879201
1023
0.0878143
1004
0.0877087
1055
0.0876033
1021
0.0874981
999
0.0873931
1026
0.0872884
1075
0.0871838
1012
0.0870795
1019
0.0869754
1005
0.0868715
1049
0.0867678
1065
0.0866643
1038
0.0865611
1020
0.086458
1079
0.0863552
1070
0.0862526
1034
0.0861501
1084
0.0860479
1046
0.0859459
1026
0.0858441
1064
0.0857425
1110
0.0856411
1068
0.08554
1197
0.085439
1135
0.0853382
1067
0.0852376
1108
0.0851373
1090
0.0850371
1101
0.0849372
1075
0.0848374
1109
0.0847378
1048
0.0846385
1165
0.0845393
1129
0.0844404
1127
0.0843416
1161
0.084243
1134
0.0841447
1131
0.0840465
1175
0.0839485
1118
0.0838507
1053
0.0837532
1229
0.0836558
1076
0.0835586
1172
0.0834616
1159
0.0833648
1232
0.0832682
1156
0.0831717
1131
0.0830755
1154
0.0829795
1173
0.0828836
1220
0.0827879
1143
0.0826925
1208
0.0825972
1223
0.0825021
1136
0.0824072
1153
0.0823125
1141
0.0822179
1191
0.0821236
1171
0.0820294
1209
0.0819354
1216
0.0818416
1269
0.081748
1243
0.0816546
1374
0.0815614
1525
0.0814683
2249
0.0813754
2712
0.0812827
1704
0.0811902
1207
0.0810979
1170
0.0810057
1155
0.0809137
1159
0.0808219
1191
0.0807303
1163
0.0806389
1211
0.0805476
1135
0.0804565
1226
0.0803656
1206
0.0802749
1205
0.0801843
1197
0.0800939
1189
0.0800037
1158
0.0799137
1236
0.0798238
1180
0.0797341
1173
0.0796446
1291
0.0795553
1218
0.0794661
1222
0.0793771
1224
0.0792883
1216
0.0791996
1243
0.0791111
1240
0.0790228
1236
0.0789346
1244
0.0788466
1271
0.0787588
1257
0.0786712
1225
0.0785837
1316
0.0784964
1312
0.0784092
1215
0.0783222
1289
0.0782354
1312
0.0781488
1353
0.0780623
1254
0.077976
1258
0.0778898
1360
0.0778038
1331
0.077718
1324
0.0776323
1255
0.0775468
1361
0.0774614
1320
0.0773762
1320
0.0772912
1367
0.0772063
1360
0.0771216
1401
0.0770371
1362
0.0769527
1372
0.0768684
1381
0.0767844
1448
0.0767005
1389
0.0766167
1444
0.0765331
1370
0.0764496
1386
0.0763663
1439
0.0762832
1420
0.0762002
1380
0.0761174
1434
0.0760347
1576
0.0759522
1550
0.0758698
1499
0.0757876
1499
0.0757056
1569
0.0756237
1434
0.0755419
1540
0.0754603
1618
0.0753789
1553
0.0752975
1522
0.0752164
1596
0.0751354
1565
0.0750545
1596
0.0749738
1535
0.0748933
1525
0.0748129
1580
0.0747326
1510
0.0746525
1568
0.0745725
1604
0.0744927
1626
0.074413
1660
0.0743335
1714
0.0742541
1696
0.0741749
1785
0.0740958
1687
0.0740169
1713
0.0739381
1662
0.0738594
1669
0.0737809
1725
0.0737025
1672
0.0736243
1633
0.0735462
1636
0.0734683
1579
0.0733905
1717
0.0733128
1669
0.0732353
1760
0.0731579
1823
0.0730807
1866
0.0730036
1968
0.0729266
1979
0.0728498
2061
0.0727731
2115
0.0726965
2082
0.0726201
2005
0.0725439
1918
0.0724677
1854
0.0723917
1743
0.0723159
1711
0.0722401
1738
0.0721646
1597
0.0720891
1762
0.0720138
1718
0.0719386
1718
0.0718636
1782
0.0717886
1938
0.0717139
2052
0.0716392
2304
0.0715647
2522
0.0714903
2812
0.0714161
2752
0.071342
2437
0.071268
2139
0.0711941
1825
0.0711204
1626
0.0710468
1541
0.0709733
1483
0.0709
1451
0.0708268
1423
0.0707537
1389
0.0706808
1401
0.070608
1348
0.0705353
1334
0.0704627
1377
0.0703903
1639
0.070318
2276
0.0702458
4042
0.0701738
6519
0.0701019
4043
0.0700301
1763
0.0699584
1279
0.0698869
1167
0.0698154
1010
0.0697441
988
0.069673
931
0.0696019
884
0.069531
935
0.0694602
936
0.0693896
947
0.069319
997
0.0692486
1005
0.0691783
983
0.0691081
1185
0.069038
1189
0.0689681
1225
0.0688983
1171
0.0688286
1153
0.068759
1035
0.0686896
902
0.0686202
869
0.068551
880
0.0684819
835
0.0684129
802
0.0683441
783
0.0682753
786
0.0682067
849
0.0681382
833
0.0680698
921
0.0680016
1081
0.0679334
1170
0.0678654
1499
0.0677975
1644
0.0677297
1817
0.067662
1647
0.0675944
1211
0.067527
897
0.0674597
728
0.0673924
640
0.0673253
586
0.0672583
485
0.0671915
487
0.0671247
467
0.067058
439
0.0669915
441
0.0669251
359
0.0668588
328
0.0667926
339
0.0667265
517
0.0666605
1537
0.0665947
4982
0.0665289
4638
0.0664633
590
0.0663977
173
0.0663323
121
0.066267
105
0.0662018
111
0.0661367
90
0.0660718
83
0.0660069
79
0.0659421
75
0.0658775
90
0.0658129
67
0.0657485
73
0.0656842
88
0.06562
86
0.0655559
73
0.0654919
75
0.065428
86
0.0653642
78
0.0653005
87
0.0652369
83
0.0651735
93
0.0651101
73
0.0650468
73
0.0649837
85
0.0649206
84
0.0648577
72
0.0647949
98
0.0647321
92
0.0646695
72
0.064607
97
0.0645445
70
0.0644822
78
0.06442
84
0.0643579
69
0.0642959
76
0.064234
85
0.0641722
72
0.0641105
81
0.0640489
106
0.0639874
90
0.063926
84
0.0638647
101
0.0638035
56
0.0637424
100
0.0636814
106
0.0636205
75
0.0635597
85
0.063499
89
0.0634384
78
0.0633779
84
0.0633175
86
0.0632572
93
0.063197
102
0.0631369
99
0.0630768
106
0.0630169
103
0.0629571
107
0.0628974
93
0.0628378
130
0.0627783
95
0.0627188
92
0.0626595
105
0.0626003
97
0.0625411
95
0.0624821
100
0.0624232
90
0.0623643
104
0.0623056
79
0.0622469
108
0.0621883
126
0.0621299
118
0.0620715
128
0.0620132
122
0.061955
124
0.0618969
149
0.0618389
141
0.061781
147
0.0617232
128
0.0616655
117
0.0616078
121
0.0615503
122
0.0614928
105
0.0614355
82
0.0613782
98
0.061321
79
0.061264
95
0.061207
81
0.0611501
108
0.0610933
115
0.0610365
129
0.0609799
142
0.0609234
158
0.0608669
162
0.0608106
159
0.0607543
105
0.0606981
108
0.060642
103
0.060586
125
0.0605301
87
0.0604743
47
0.0604186
9
0.0603629
12
0.0603073
end of experiment
